ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 02系列產(chǎn)品特色

● 價(jià)格低廉，性能好

● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成

● 壓損極低，最小滿(mǎn)量程壓損僅為 20Pa

●測(cè)量范圍0.1 ~ 100%滿(mǎn)量程，一臺(tái)設(shè)備適用于多個(gè)應(yīng)用

●狀態(tài)指示燈（LED），可指示電源，串口通訊，錯(cuò)誤

●配置累計(jì)功能，可用于定量監(jiān)測(cè)。

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥、無(wú)腐蝕性氣體

介質(zhì)種類(lèi)   可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2

滿(mǎn)量程：    標(biāo)準(zhǔn)0 - 100 SCCM至0-100SLPM，可10%-125%量程標(biāo)定。      

測(cè)量范圍    0.1 ~ 100%滿(mǎn)量程 （1000:1）          

精    度 ：

Air/N2/O2/CH4：±1.5%讀數(shù)或者±0.2%滿(mǎn)量程，取大值；

He/H2：±1.8%滿(mǎn)量程；

Ar：±1.5%讀數(shù)或者±0.5%滿(mǎn)量程，取大值；

CO2/N2O：100SCCM-2SLPM---±1.5%讀數(shù)或者±0.5%滿(mǎn)量程，取大值；

                5-20SLPM---±2.0%讀數(shù)或者±1.0%滿(mǎn)量程，取大值；

                50-100SLPM----±3.0%讀數(shù)或者±2.0%滿(mǎn)量程，取大值；

重 復(fù) 性：    ±0.25 %讀數(shù)或者±0.05%滿(mǎn)量程，取大值

溫度敏感性（質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移）：± 0.05 % 讀數(shù)/ ℃（從校準(zhǔn)溫度開(kāi)始）

溫度精度：±1.5℃

累計(jì)流量精度：標(biāo)準(zhǔn)精度額外增加±0.6%讀數(shù)

顯示響應(yīng)時(shí)間：    優(yōu)于6ms，與量程相關(guān)

預(yù)熱時(shí)間    1分鐘（5分鐘最佳）

標(biāo)準(zhǔn)狀況（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用戶(hù)可定制

操作溫度：    0 ～ 50℃（介質(zhì)和環(huán)境）

工作濕度    0- 95 %，無(wú)冷凝

操作壓力   0-145PSIG        

耐壓：  175PSIG

數(shù)字信號(hào)： Modbus ASCII和RTU 基于 RS485或RS232

數(shù)字信號(hào)刷新頻率：最快176Hz，與波特率和系統(tǒng)相關(guān)

模擬信號(hào)： 0 - 5 Vdc或4 - 20 mA

模擬信號(hào)刷新頻率：  400Hz

模擬信號(hào)精度：標(biāo)準(zhǔn)精度額外增加±0.125%滿(mǎn)量程

電氣接口：6針 JST GH

供電需求： 12-24 Vdc，12mA

材    質(zhì) ：

主體材質(zhì)：硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁

閥門(mén)材質(zhì)：黃銅，300系列不銹鋼，NBR（丁晴橡膠），F(xiàn)R4樹(shù)脂

密封材質(zhì)：FKM

傳 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，錫，紫銅

過(guò)程連接    NPT或SAE內(nèi)螺紋

安裝固定孔：2×M3×0.5螺紋，深度6mm

安裝方向：   平行方向校準(zhǔn)

防護(hù)等級(jí)    IP40

狀態(tài)指示燈（LED）：電源，串口通訊，錯(cuò)誤

尺寸詳圖

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